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光刻

guāng kè

〈工業〉フォトリソグラフィ．リソグラフィ

〈英語〉photolithography

〈参考情報〉

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光刻机

guāng kè jī

  1. ステッパー（ステッパ）．縮小投影型露光装置

    〈備考〉半導体素子製造装置の一つ（ステッパー - Wikipedia より）

  2. リソグラフィ装置．

    〈備考〉半導体の露光装置(ろこうそうち)

    〈英語〉lithography

    〈参考〉百度百科の光刻机 / Wikipediaのフォトリソグラフィ

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光刻法

guāng kè fǎ

フォトリソグラフィ

〈英語〉Photolithography

〈備考〉略してフォトリソ、リソグラフィともいう

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光刻胶

guāng kè jiāo

フォトレジスト

〈英語〉photoresist

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光刻膠

guāng kè jiāo

〈台〉フォトレジスト

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