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光刻机

guāng kè jī

  1. ステッパー(ステッパ).縮小投影型露光装置

    〈備考〉半導体素子製造装置の一つ(ステッパー - Wikipedia より)

  2. リソグラフィ装置.

    〈備考〉半導体の露光装置(ろこうそうち)

    〈英語〉lithography

    〈参考〉百度百科の光刻机 / Wikipediaのフォトリソグラフィ

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